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节选该规范部分内容
本校准规范规定了对高速主轴动静态参数测量仪实验室环境下的动态测量精度及静态测量精度进行校准的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理及复校时间间隔。
本校准规范适用于新制造(或购置)、使用中、修理后的高速主轴动静态参数测量仪校准。
主轴测量仪可以用来测量主轴的动态或静态回转误差,在工业制造中广泛应用。主轴回转运动误差包含径向回转误差、轴向回转误差及倾角回转误差这三类。主轴测量仪可以测量其中一种或多种误差运动。典型的主轴测量仪是基于三点法测量原理完成各项误差运动的测量工作,采用一个或多个位移传感器对安装在主轴上的标准器进行测量,并通过误差分离技术得出待测误差分量。目前也出现了部分基于光学手段的主轴测量仪,使用激光光束照射安装在主轴上的标准器,通过光电敏感器件采集标准器的反射光束位置变化对主轴运动误差进行测量。
这些主轴测量仪的结构示意图如图1所示。
校准过程中所需计量器具(计量基准或计量标准)及配套设备的技术指标要求等。
将标准平晶安装在精密高速主轴回转端面上,激光干涉仪安装在被测主轴基座上。将标准平晶中心调整到被测主轴回转轴线上,激光干涉仪测量光轴与被测主轴回转轴线重合并对准标准平晶。
精密高速主轴动态径向回转误差
将靶标式标准器安装在精密高速主轴回转端面上,高感光CCD安装在被测主轴基座上。将靶标式标准器中心调整到被测主轴回转轴线上,高感光CCD成像光轴与被测主轴回转轴线重合并对准靶标式标准器。
精密高速主轴动态轴向回转误差
将标准平晶安装在精密高速主轴回转端面上,激光干涉仪安装在被测主轴基座上。将标准平晶中心调整到被测主轴回转轴线上,激光干涉仪测量光轴与被测主轴回转轴线重合并对准半球。