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节选该标准部分内容:
本规范适用于洁净工作台的测试校准,其他类似用途的洁净设施测试校准方法可以参照本规范执行。
洁净工作台(以下简称工作台)是一种箱式局部空气净化设备,由箱体、风机、预过滤器、高效(或超高效)空气过滤器、照明及电器控制系统组成,在正常工作状态下 能防止来自工作区外部的空气传播污染物通过操作口进入工作区。 工作台按照不同的气流流型分为垂直单向流、水平单向流和非单向流工作台,按照 操作方式的不同分为单面操作型、双面操作型工作台。
校准用标准器及配套设备
热式风速仪
热式风速仪,经计量校准合格,测量范围(0~1)m/s 时,最大允许误差为±0.015 m/s 或示值的±3%(取较大值)。
烟雾发生装置
包括烟雾发生器及烟雾剂,提供可视烟雾(包括水雾和油雾)。
尘埃粒子计数器
测量范围至少为(0.3~10)μm,经计量校准合格,最大允许误差为±20% FS。
照度计
测量范围至少为(0~1000)lx,准确度等级不低于二级,最大允许误差为±10%。
声级计
测量范围至少为(40~100)dB,经计量校准合格,最大允许误差为±1 dB,分辨率不低于 1 dB,有“A”计权模式。
高效过滤器检漏仪
由气溶胶发生器和光度计组成。气溶胶发生器,压力调至最小 140 kPa,使用 DOP 或与之相当的液体发生气溶胶;发生器喷嘴浸入液体的深度应不超过 25 mm;气溶胶发 生器的压力计量程为(0~550)kPa,分辨力 7 kPa,最大允许误差为±7 kPa,气溶胶发 生器的压力计应经过计量校准。光度计为线性或对数刻度,可以将过滤器上游气流中浓 度不低于 10 μg/L DOP(或相当液体)多分散气溶胶微粒标示为 100%,能检测 0.001% 同一气溶胶微粒,并且经过计量校准。
高效过滤器计数检漏仪
由气溶胶发生器、颗粒稀释器及计数检漏仪(配有手持式扫描采样探头)三部分组成。气溶胶发生器产生冷态、多分散的气溶胶,如 DEHS,气溶胶粒径在(0.3~0.5)μm 范围内的集中度≥70%,气溶胶喷雾浓度为 2×109 P/L,经过计量校准。颗粒稀释器稀释 倍率≥70,经过计量校准。计数检漏仪采样量 28.3 L/min,检漏粒径通道包括 0.3 μm、0.5 μm、1 μm、3 μm、5 μm、10 μm,检漏粒径≥0.3 μm,扫描速度在(3~5)cm/s,探 头与过滤器出风面间距(2~3)cm,经过计量校准。
振动测试仪
最小可靠读数为 2.5 μm 均方根(RMS)幅值,或者具有检测此幅值差异的能力, 幅值线性度最大允许误差为±5%FS。
Φ90 培养皿
含营养琼脂培养基、胰蛋白胨大豆琼脂培养基或其他适合普通微生物生长的无抑制剂和添加剂的培养基。
菌落总数标准物质
应采用有证标准物质验证培养基。
将洁净工作台的气流流速设置为生产厂商规定的最低值,按下列方式在位于散流装置下侧 100 mm 且测试区域边界与洁净台的内壁及操作口距离应为 100 mm 的水平面上 确定测量点位置,多点测量穿过该平面的水平气流流速。 a)测量点最少应有 3 排,测量点等距分布,形成的正方形栅格应满足(100~200) mm×(100~200)mm;对于标称宽度不小于 0.9 的工作台,每排最少应有 7 个测量点, 每个测量点重复测量 3 次;对于标称宽度小于 0.9 的工作台,每排最少应有 4 个测量点, 每个测量点重复测量 3 次;如果测试区域边界距工作台的内壁及前窗操作口 100 mm, 上述正方形格栅间距不满足不小于 100 mm 的间隔要求,每排最少应有 4 个等距离测量 点,每个测量点重复测量 3 次;当工作台前窗具有不止一个标称高度时,可能存在的不 同垂直气流网格应满足上述要求。