几何测量方法是指测量时所采用的测量原理、计量器具相测量条件的综合。在测量过程中，应根据被测零件的特点(如材料硬度、外形尺寸、批量大小、精度要求等)和被溯对象的定义来拟定测量方案、选择计量器具和规定测量条件。
指为确定被测几何量的量值而进行的实验过程。其实质就是将被测几何量与作为计量单位的标准量进行比较，从而确定两者比值的过程。一个完整的测量过程应包括被测对象、计量单位、测量方法和测量精度等四个要素。被测对象包括长度、角度、表面粗糙度、形状相位置误差以及螺纹、齿轮的各个几何参数等。
几何量测量仪器
是利用机械、光学、电学、气动或其他原理将被测量转换为可直接观测的指示值或等效信息的器具。按原理可以分为机械量仪、光学量仪、气动量仪、电动量仪。任何一台量仪仪器都包含一个重要部件既基准部件，它是决定几何量仪仪器准确度的主要环节，如精密丝杠、光栅尺、度盘、激光器等。
微纳几何量计量技术
包括一维微纳米级长度和尺寸测量、二维微纳米级坐标测量、三维微坐标测量以及三维微观表面测量等，微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战.微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量值的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学.为保证微纳技术的领先优势,国外先进国家一直高度重视微纳几何量计量技术的研究.目前,我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置,并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。