《透射电子显微镜校准规范》技术规范的制定工作正在进行，中国计量科学研究院和上海市计量测试技术研究院近日受全国几何量长度计量技术委员会的委托，负责规范的制定。

       透射电子显微镜是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件)上显示出来。     1—电子源 2—光阑 3—聚光镜 4—试样 5—物镜 6—一次放大像 7—中间镜 8—二次放大像 9—投影镜 10—观察窗 11—观察屏

       表1 透射电镜的计量特性

计量特性	性能指标
相对测长示值误差	不超过±6%
测长重复性	不超过2nm
正交性误差	不超过0.5°
漂移速率	不超过5nm/min

　　表2 校准用标准样品

序号	计量特性	标准样品	放大倍率	技术要求
1	测长示值误差	周期栅格	3k倍~400k倍	MPE：2%
		硅晶格	400k倍以上	——
2	测长重复性	周期栅格	3k倍~400k倍	MPE：2%
3	正交性误差	周期栅格	3k倍~10k倍	MPE：1%
4	漂移速率	周期栅格、硅晶格	50k倍~500k倍	MPE：2%

       透射电镜由于分辨率极高，能够同时获得样品的显微形貌、尺寸、化学成分、晶体结构等信息，因此在纳米材料、生物医药、新能源等领域中被广泛应用。由于磁透镜和电子枪的电流随时间的变化等因素使得透射电镜的测量长度值会产生误差，有些值的误差可达到10%，影响测量结果准确性。因此，建立透射电镜的量传体系，为纳米技术领域的精准测量提供技术保障。

       本规范主要依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》GB/T 34002-2017《微束分析透射电子显微术用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法》的部分内容。