电子探针显微分析是微束分析技术中一个应用极为广泛的领域，是通过各种材料或产品的微米尺度成份和结构分析来进行质量管理和质量检验的重要技术手段。电子探针显微分析的物理基础是基于高能电子与试样相互作用激发 X 射线和 X 射线光谱学的原理。
在电子探针显微分析技术发展和应用过程中，我国发布了《微束分析 电子探针显微分析(EPMA)术语》GB/T 21636—2008/ISO 23833:2006。但随着电子探针显微分析技术的发展以及应用需求的不断变更，原版标准以及不再完全适用于新情况。因此，国家标准化管理委员会决定对《微束分析 电子探针显微分析(EPMA)术语》GB/T 21636—2008/ISO 23833:2006进行修订。
新版标准定义了电子探针显微分析实践中使用的术语，包括一般概念的术语和按仪器、分析方法分类的特定概念的术语。适用于相关领域(SEM、AEM、EDX 等)的所有标准和实践文件，用于定义通用术语。
按要求，新版《微束分析 电子探针显微分析(EPMA)术语》将替代《微束分析 电子探针显微分析(EPMA)术语》GB/T 21636—2008/ISO 23833:2006。
与 GB/T 21636-2008 相比，新版标准主要变化如下：
——增加了部分术语和定义；
——修改了部分术语的定义、对部分术语增加了新注解；
——删除参考文献[3]、[4]、[5]、[6]，并补充了新的参考文献；
——增加了中文索引
电子探针显微分析被广泛应用在高技术产业、基础工业、农业、冶金、地质、生物、医药卫生、环境保护、商检贸易乃至刑事法庭等行业中。
电子探针显微分析是一种用于定性和定量分析固态试样(包括金属、陶瓷、玻璃、矿物、聚合物、粉末等)中元素成分的现代分析技术，具有微米级的横向和深度分辨能力，可广泛应用在高技术产业、基础工业、农业、冶金、地质、生物、医药卫生、环境保护、商检贸易乃至刑事法庭等行业中。统一电子探针显微分析术语，不仅有利于电子探针显微分析技术的发展，也有利于各行各业开展分析工作。
相关资料下载：微束分析 电子探针显微分析（EPMA）术语