精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性 交叉学科,涉及广泛的学科领域,它的发展需要众多相关学科的支持。在现代工业制造技术和科学研究中,测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势。三坐标测量机是适应上述发展趋势的典型代表,它几乎可以对生产中的所有三维复杂零件尺寸、形状和相互位置进行高准确度测量。发展高速坐标测量机是现代工业生产的要求。
3月上旬,安徽省市场监管局韩永生局长一行到浙江省计量院调研。调研组首先在大长度精密测量实验室参观了50米大长度标准装置,该装置由精密导轨平台、标准激光干涉仪和环境温度补偿单元组成,能开展针对大型装置的检测设备的量值溯源工作。随后在大力值精密测量实验室参观了1MN静重式力标准机。该设备和国家计量院精度水平相同,是浙江省最高计量标准,能为浙江省产业服务和大型基础建设提供计量测试。
导轨通常采用机械加工方式或冷拔加工方式制成,其抗托强度一般应在370~520MPa。按其横向截面形状分主要有:恋夜T形导轨、L(或三角项端酷)形导轨、U形导轨、O形导轨、空心导轨等。导轨是用金属或其它材料制成的槽或脊,可承受、固定、引导移动装置或设备并减少其摩擦的一种装置。导轨表面上的纵向槽或脊,用于导引、固定机器部件、专用设备、仪器等。导轨又称滑轨、线性导轨、线性滑轨,用于直线往复运动场合,拥有比直线轴承更高的额定负载, 同时可以承担一定的扭矩,可在高负载的情况下实现高精度的直线运动。机电一体化系统中的导向装置一般是指导轨,导轨由运动件和承导件组成。各种机械运行时,由导轨副保证执行件的正确运动轨迹。并且导轨副也影响着执行件的运动特性。
激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪,主要是以迈克尔逊干涉仪为主,并以稳频氦氖激光为光源,构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。
单频激光干涉仪:从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。
双频激光干涉仪:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。
静重式扭矩标准机属于扭矩计量测试领域,扭矩标准机以标准力值,直接或经过一定的杠杆机构放大后,通过力臂杠杆的作用产生标准力矩。对各类扭矩测量仪,扭矩传感器进行量传(或称为校准、检定)。包括支承部件、标准力加载机构、杠杆机构、扭矩传感器安装部分及其控制系统;所述标准力加载机构包括加载框架、托架机构和圆盘加载机构,步进电机A的输出端穿过上安装盘,通过夹紧传动机构和夹紧臂实现对砝码的夹紧或松开,所述砝码上端穿过下安装盘上的砝码槽;所述控制系统固定在所述安装板的下方,通过控制系统控制标准力加载机构和托架机构的步进电机转动,实现砝码的加载和卸载。本实用新型的砝码可以根据扭矩传感器检定的需要任意选取和组合使用,驱动机构简单,可靠性高。
新闻来源:浙江省计量科学研究院