自16世纪，光学显微镜面世后，把人类眼睛仅能分辨的0.2mm细节的能力，延伸到观察细菌和微生物的领域。此后经过不断的科学探索，在光学显微镜的研究基础上，电子显微镜应运而生，较大地提高了人类对微观世界的认知水平。

　　

　　如今，电子显微镜已经成为实验室科研人员深入探索更为微观世界的“眼”，得到广泛运用。本期我们就2020年较为突出的电镜新品进行盘点，以飨读者。

　　

　　注：本文为编者不完全统计，仅为参考。

　　

　　牛津仪器：Xplore15/Xplore30能谱探测器

　　

　　上市时间：2020年1月

　　

　　Xplore是SEM常规分析所用新一代EDS探测器，使用了Ultim Max探测器中诸多新技术，它提供了实时EDS分析所需的快速数据采集，同时保证了常规分析所需的自动可靠的结果。在速度上，Extreme电路与X1脉冲处理器的结合使Xplore能够以1,000,000 cps的计数率进行面分布分析，并以100,000 cps的速度进行准确定量分析；同时，Extreme电路的运用，有效提供了尽可能低的噪音信号检测和处理，确保在高计数率下获得优异的能量分辨率和谱图质量，保证在100,000 cps下获得129eV Mn Kα分辨率；此外，Xplore的灵敏度也是表现出现，此次新的紧凑型设计使得探测器体积小巧且便于现场维修，更大限度地延长工作时间并减少宕机时间。

　　

　　日本电子：冷场发射12极子球差校正透射电镜

　　

　　上市时间：2020年2月

　　

　　JEM-ARM300F2(GRAND ARM™2)全新原子分辨率分析电子显微镜是日本电子株式会社于2月中旬推出的重磅产品，一经出世，便受到诸多关注。

　　

　　在能谱分析功能上，其新开发的FHP2物镜极靴采用低光学系数，低Cc系数和低Cs系数使得超高空间分辨率和高灵敏度X射线分析能够在一定范围的加速电压下执行，将能谱分析效率提高到了两倍以上；用于物镜的超宽极靴(WGP)的能谱固体角为2.2 sr，宽度可达6mm，方便科研人员进行各种类型的原位实验；配备EOL开发的12极子球差(Cs)校正器和自动校正软件，使快速，轻松执行像差校正成为可能。

　　

　　此外，GRAND ARM™2配备了新式Cold-FEG，可从电子源提供较小的能量散布，使得稳定性更好。

　　

　　日本电子：JSM-IT800场发射电子显微镜

　　上市时间：2020年5月

　　

　　JSM-IT800场发射扫描电镜自上市以来，以其通用性强，运用领域广，受到市场追捧。目前已应用于纳米材料、金属材料、半导体材料、化学化工、医学及生物学领域，可高效观察包括非导体样品及强磁性样品等。

　　

　　其分辨率可达0.5nm,成像能力强大；浸没式电子枪可提供500nA大电流，EDS和EBSD分析速度较快；另外JSM-IT800系列搭载了众多全新研发的电子光学技术，自动化程度高。

　　

　　赛默飞：Helios 5 Laser PFIB聚焦离子束扫描电子显微镜

　　

　　上市时间：2020年5月

　　

　　Helios 5 Laser PFIB作为业内知名的Helios系列第五代产品的一部分，集成了赛默飞一直以来深受欢迎的Elstar SEM镜筒(用于超高分辨率成像和先进的分析能力)、等离子FIB镜筒(可在所有操作条件下实现较高性能)以及飞秒激光系统，可实现以高速率进行原位材料刻蚀；而在成像标准上，建立在赛默飞 Helios 5平台的基础上，Helios 5 Laser PFIB重新定义了具有高材料对比度的高分辨率成像标准，可快速、简便、精确地进行高质量样品制备，适用于扫描透射电子显微镜(S / TEM)和原子探针层析技术(APT)。可以说，是一台先进的聚焦离子束扫描电子显微镜。

　　

　　Park：NX-TSH原子力显微镜

　　

　　上市时间：2020年6月

　　

　　NX-TSH是专为超大纳米平板扫描器测量而设计的自动化原子力显微镜系统，随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战；ATX通过模式识别自动定位探针，并使用新的磁性方法来取放新旧探针，激光光斑通过电动定位技术实现自动对准；Park创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷，由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且将在样品处理过程中产品意外静电的风险降低。

　　

　　厦门超新芯科技：CHIP-NOVA透射电镜原位液体多功能集成样品杆

　　

　　上市时间：2020年6月

　　

　　作为厦门超新芯科技2020年的一款电镜新品，与其以往产品相比，CHIP-NOVA实现了多功能的集成，包括电化学、光学和加热功能模块。对样品杆的相关软件程序进行优化，实现更精确的温度控制和升温； 此外通过纳流控的控制，能够在少量液体存在的情况下实时观察材料变化，不仅可以满足科研人员的观察需求，且在安全性方面大幅提升，即使在窗口破裂的情况下，纳升级的液体也不会对透射电镜造成较大伤害；在分辨率处理上，芯片采用更薄的氮化硅膜，减少信号干扰，更容易实现高分辨观测，图像更为清晰。

　　

　　Qzabre：QSM基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜

　　

　　上市时间：2020年9月

　　

　　磁性材料的显微观测有助于材料的微观结构及其形成机理的研究，随着科研的发展，磁性材料研究的尺度已经趋向于亚微米级甚至纳米级。因此，超高分辨和超高灵敏度的测试有助于对这些较小尺寸的材料进行研究。

　　

　　相比于传统的显微观测设备如克尔显微镜(分辨率~300 nm)、磁力显微镜MFM(分辨率~50 nm )等，基于NV色心的超分辨量子磁学显微镜——QSM系统除了拥有优于30 nm的磁学分辨率，还可以进行样品表面磁场大小的定量测试，且NV色心作为单自旋探针, 所产生的磁场不会对待测样品有扰动，在磁学显微成像上有着显著的优势。

　　

　　根据编者整理发现，2020年电镜新品研发国产品牌数量稀少，主要还是以国外品牌为主，尤其是赛默飞、日本电子等老牌仪商，其研发力度和速度始终走在前列，相关产品深受市场青睐，是电镜市场的主力军。以上，就是2020仪器系列盘点——电镜新品的部分盘点。