“为了增强石墨烯与基于硅的半导体工艺的兼容性,应在低于 400°C 的温度下在半导体衬底上进行晶圆级石墨烯生长。” SAIT的石墨烯项目负责人兼首席研究员 Shin Hyeon-Jin Shin 表示。“我们还在不断努力,将石墨烯的应用范围扩展到半导体以外的领域。”
新发现的材料称为无定形氮化硼(a-BN),由具有非晶分子结构的硼和氮原子组成。尽管非晶态氮化硼衍生自白色石墨烯,其中包括以六边形结构排列的硼和氮原子,但实际上 a-BN 的分子结构使其与白色石墨烯具有独特的区别。
无定形氮化硼拥有无固定形状的分子结构,内部包含硼原子、氮原子。它源自白石墨烯,后者也有硼原子、氮原子,不过是六边形结构,无定形氮化硼则与之截然不同。
无定形氮化硼具有 1.78 的同类最佳的超低介电常数,具有强大的电气和机械性能,可以用作互连隔离材料以最大程度地减少电干扰,还证明了该材料可以在仅 400°C 的低温下以晶圆级生长。因此,预计无定形氮化硼将广泛应用于诸如 DRAM 和 NAND 解决方案的半导体,尤其是在用于大型服务器的下一代存储器解决方案中。
三星表示,无定形氮化硼的介电常数非常之低,只有区区1.78,同时又有很强的电气和力学属性,作为一种互连隔绝材料可以大大减少电子干扰,而且只需400℃的超低温度,就能成长到晶圆级别尺寸。
三星认为,无定形氮化硼有望广泛应用于DRAM内存、NAND闪存的制造,特别适合下一代大规模服务器存储解决方案。