2020年6月28日，由英格尔&安捷伦举办的“2020年高纯电子材料测试分析技术研讨会”及“高纯电子材料检测中心”启动仪式在浦东卓美亚喜玛拉雅酒店开幕。


       此次会议邀请中国电子材料行业协会、中国电子化工新材料联盟、上海集成电路协会、上海市政府部门、半导体制造产业链企业，包括芯片制造企业、电子化学品制造企业、FPD 平面显示制造企业等，共同研讨疫情过后，国内电子材料发展的机遇与挑战，高品质电子材料标准与质量控制及政府对产业发展的扶持政策。


       上海市集成电路行业协会秘书长徐伟带来题为《半导体专用材料的机遇与挑战》的精彩报告。半导体材料国产化挑战与机遇并存。晶圆制造材料包括 硅片 、光刻胶、光掩膜版、电子特气、湿化学品、溅射靶材、CMP抛光材料等。目前我国高端晶圆制造材料主要被欧美及日韩企业垄断，占据市场份额的80%左右。随着半导体产业向中国转移和配套产业链的完善，未来材料端的进口替代、打造集成电路产业生态链是必然趋势。目前部分中低端品种已实现进口替代，部分优秀企业已在高端产品进口替代上取得了重要突破。


       上海市闵行区经委高新技术产业化促进中心高级工程师郭洁茜进行了闵行区政府对半导体行业的扶持政策解析。

       中国电子材料行业协会常务副秘书长、中国电子化工新材料产业联盟秘书长鲁瑾带来题为《疫情影响下国内半导体材料发展的展望》的精彩报告。报告指出2019年受存储芯片下滑影响，全球半导体市场营收大幅下跌12%。新冠疫情的冲击、中美贸易战不断升温会导致2020年全球半导体市场营收继续下滑。从区域分布看，亚太地区占据了全球半导体市场的半壁江山，（2019年）销售额达2552亿美元，占比61.93%。

       报告指出国内半导体行业存在企业规模小、研发投入不足、产品同质化严重、供应链体系发展不完善等问题。目前国际形势不断变化，国内半导体晶圆厂以疫情为契机，考虑借机引入国产供应商作为备份。特别是在导入新的产品、新的项目建设时国产材料供应商要抓住可以进入的机会。


       安捷伦科技副总裁张建苗致辞。在半导体产业链领域，安捷伦从其前身惠普公司开始，一直紧跟半导体客户的需求，为半导体领域为客户提供了持续的支持，并在集成电路制程领域中至关重要的高纯检测分析仪器及解决方案领域，一直处于领先的地位。张建苗表示英格尔是安捷伦非常重要的客户，长期以来双方一直紧密合作。“高纯电子材料联合检测中心”的建成，将促使双方各自在半导体产业链分析检测领域的优势更好地结合起来，共同推动国家半导体产业的发展。


       英格尔集团总裁杨宏奇致辞。杨宏奇表示国家大力发展半导体，芯片产业。在《中国制造2025》中，集成电路相关的内容也被列在发展新一代信息技术产业的首位。本次与安捷伦的合作将促进英格尔在半导体行业的检测能力，为客户提供更好的质量保障整体解决方案。


       英格尔高纯电子材料检测中心负责人张君峰带来题为《超纯化学品检测质量控制要点解析》的精彩报告。半导体第三方检测服务从属于检验检测认证服务，在“十三五规划明确提出了，今后五年要加快推进认证认可强国建设，制定检验检测行业的发展目标：预计到今年(2020年)我国检验检测认证服务业总收入达到3000亿元左右，比“十二五”末增长55%左右。报告介绍了超纯化学品检测的目标规划、质量要素、质量流程、体系运行、品质管控、客户服务和持续改善等。


       安捷伦原子光谱东区应用经理曾祥程带来了题为《半导体先进制程中无机元素分析的关键要素》的精彩报告。安捷伦与半导体行业有着不解之缘，从惠普时期开始，安捷伦在ICP-MS产品及半导体无机元素分析领域实现了一次次技术提升，从冷等离子体技术到世界上第一台串接 ICP-MS等等，并始终处于这个领域创新的最前沿。半导体制程中，为了严格控制湿化学品中无机杂质，需要使用ICP-MS等分析仪器，对其中痕量及超痕量的元素进行检测，包括硫酸，双氧水等无机试剂，以及显影剂,光刻胶等有机试剂。半导体制程中的湿化学品，化学组成非常复杂，通常让痕量元素分析面临诸多困难。报告介绍了ICP-MS在检测无机元素时所展现的具体分析性能。