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传感器技术应用——换能器简介

在科学和工程的许多领域，用刻浊和其他微加工技术来制造小劭化的传感器、执行器和 微结构[2变得越来越普遍。为r制造这咩的器件，常常使用原先在集成电路x业中发展起来 的-些技术对材料进行添加、去餘、修饰和囝形化。20世纪丨年代沿期，研究者幵始注意 到：硅和其他半导体讨料不仪能用来制造分立的和集成的电子电路，而且也能用来制造传感 器与执行器以及1些由f所使用的材料利尺度的微逛化而具有r新特性的其他器件。广义地 讲，微机械加工是指用刻蚀和其他精密加工工艺来制造微型器件的技求(由这种技术生产的 器件，有时被称为即微电子机械桌统，这条术语会让人们产生误解，因为许多微 机械器件从某种意义上说并不是机械的)。