本标准规定了用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流了浓度的原理、仪器与材料、样品制备、测量步骤和数据处理。
本标准适用于外延层厚度不小于某一最小厚度值（见附录B）的相同或相反导电类型衬底上的n型或p型外延层，也适用于体材料。
GB-T 14863-1993 用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法
2019-08-16 08:35 浏览:237 下载:51
| 标准类别 | 国家标准 |
|---|---|
| 标准状态 | 已经废止 (标准状态仅供参考) |
| 颁发部门 | 国家技术监督局 |
| 发布日期 | 1993-12-30 |
| 实施日期 | 1994-10-01 |
| 废止日期 |
GB-T 14863-1993 用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法