活性炭活化水蒸气发生器,通过精密注射泵精准控制进液量,通过精密相变汽化模块将液体先分散成液膜再进行换热转化成水蒸气,水蒸气通过高温耐腐蚀预热器将水蒸气的温度升至750℃-850℃,可以稳定地将一路液体蒸发。另外可以通过质量流量器一路惰性载气进行混合控制从而达到工艺要求。