1、扫描电镜与拉曼光谱仪联用系统
扫描电镜与拉曼光谱仪联用系统 技术指标 一、电子枪部分 1. 二次电子分辨率≤1.2nm@30kV; ≤1.8 nm@1 kV 2. 探针电流2pA-400nA 3. 放大倍数2-1,000,000 4. 电子束着陆能量50eV-30keV 二、样品室样品台 1. 样品室内部尺寸：≥340mm（宽）*315mm（深） 2. 接口数量20+ 3. 计算机控制优中心样品台 4. 移动行程x≥130mm, y≥130mm, z≥100mm，旋转360°，倾斜-60°-90° 5. 最大样品高度：≥106mm（可以旋转）；≥147mm（不能旋转） 三、探测器系统 1. 样品室内ETD 探测器，镜筒内二次电子探测器，镜筒内背散射电子探测器；样品室可伸缩式BSE探测器；探针电流测量装置；报警装置；红外CCD装置。 四、
共聚焦拉曼显微镜部分 1. 532 nm波长的激光器和拉曼滤光片组 2. CCD相机 3. 高级数据处理软件 4. 全部数据库及数据库软件 5. 3D压电驱动的扫描平台
2、氩离子抛光系统
氩离子抛光系统 技术指标 1. 离子枪：至少配有两个，聚焦束设计无耗材。 2. 抛光角度范围：≥+10°到≤-10°，每个离子枪可独立进行角度调节。 3. 离子束能量范围：≤0.1 kV到≥8.0kV，具有低能量枪功能。 4. 离子束流密度：≥10mA/cm2峰值。 5. 抛光速度：≥300μm/h（8.0kV条件下对于硅试样）。 6. 抛光方式：同时具备平面和截面。 7. 样品台大小（长×宽×高）：≥10mm×10mm×4mm。 8. 样品装载：简单，无需破坏主室真空即可方便地卸配有airlock再次抛光位置准确，可重复使用配合一定附件可升级为直接转至 SEM 中观察。 9. 样品台旋转速范围：≥0.5至 6rpm ，连续可调。 10. 束流调制：具有离子功能，可进行扇形截面抛光（10°≤ 扇形角度≤90°可调）和平面抛光。 11. 配置液氮冷台，样品最低温度≤-120℃，可有效减少离子束对样品造成的损伤。 12. 干泵系统：两级隔膜泵支持80升/秒的涡轮分子泵 13. 样品空气锁：独特的Whisperlok设计，样品更换时间<1min，无需破样品室真空。
3、聚焦离子束-电子束双束电镜
聚焦离子束-电子束双束电镜 技术指标 一、电子光学系统：高亮度肖特基场发射电子枪 1. 二次电子分辨率≤0.6 nm @15kV；≤1 nm @1kV 2. STEM探测器的分辨率≤0.6 nm @30kV 二、离子光学镜筒 1. 分辨率：≤ 2.5 nm @30 kV (在SEM-FIB的重合点) 2. 离子源：镓（Ga）液态金属离子源 3. Ga离子源保证使用寿命在3000uA.h 三、样品室样品台 1. 接口数量20+ 2. 主动减震，等离子清洗 3. 移动行程x≥110mm, y≥110mm, z≥65mm ，旋转360°，倾斜范围不少于-15°-90° 四、探测器系统 样品室内ETD 探测器，in beam SE探测器，Mid- angle BSE探测器, in beam f-BSE探测器；样品室可伸缩式BSE探测器；探针电流测量装置；报警装置；红外CCD装置
4、透射电镜原位力电探针样品杆
透射电镜原位力电探针样品杆 技术指标 1. 兼容指定电镜型号及极靴，保证电镜原有分辨率； 2. 力学测量指标：悬臂梁弹性范围1N/m-100N/m； 3. 载荷分辨率优于5nN 4. 自动测量力-距离曲线，自动保存； 5. 扫描探针操纵指标：包含粗调、细调控制方式，粗细调均为软件控制； 6. 扫描探针粗调范围：XY方向≥2 mm，Z方向≥1 mm； 7. 扫描探针细调范围：XY方向≥15 ？m，Z方向≥1 ？m； 8. 细调分辨率：XY方向≤0.4 nm，Z方向≤0.04 nm； 9. 电学测量指标：包含一个电流电压测试单元； 10. 电流测量范围：1 nA-30 mA； 11. 电流分辨率：优于100 fA； 12. 电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V； 13. 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。
5、X射线衍射仪
性能指标 1.1 X射线光源与光管 1.1.1 X射线发生器。 1.1.2 输出功率不小于3 kW。 1.1.3 额定电压不小于60 kV。 1.1.4 额定电流不小于60 mA。 1.2 长寿命陶瓷X射线光管 1.2.1 Cu靶陶瓷光管，标准尺寸设计； 最小精焦斑尺寸：0.4×12 mm2。 1.2.2 电流电压稳定度：优于0.005% (外电压波动10%时)。 1.2.3 X射线防护：X射线防护：安全连锁机构、剂量优于国标，辐射量小于1Sv/h。投标仪器必须具备中国环保机构颁发的辐射安全豁免资格证书，用户无需办理使用XRD所需的辐射安全许可证。投标商需要并提供相关文件的副本。 1.3 测角仪 1.3.1 测角仪具有光学定位系统。 1.3.2 扫描方式：Theta / Theta测角仪，立式测角仪。 1.3.3 2θ转动范围2θ：-8°~160°。 1.3.4 测角仪半径：≥260 mm，测角圆直径可连续改变。 1.3.5 最小步长：0.0001，角度重现性：0.0001。 1.3.6 驱动方式：步进马达加光学编码器驱动。 1.4 阵列探测器 *1.4.1 先进二维面探测器，具有零维、一维阵列、二维面测量模式，软件切换。提供的半导体阵列探测必须适合小角和广角测试，最低0.3度起测。 1.4.2 检测器窗口活性面积不小于 196mm2。最大线性计数≥2×1010cps，背景：<0.1 cps。 1.4.3 探测器本身能量分辨率：≤20%，可高效去除Cu靶测试含铁钴镍元素产生荧光干扰。 *1.4.4 像素数35000以上。像素尺寸：≤100 μm×100 μm。具有扫描和固定（照相）模式。 1.4.5 验收精度：国际标准样品NIST 1976刚玉标样现场检测，全谱范围内所有峰的角度偏差不超过±0.01度（20度到120度），随机带保证书。 1.5 光路部分 1.5.1 所有光学附件均采用模块化设计，安装、拆卸方便快捷。 1.5.2 所有光学附件智能芯片识别、自动精确定位。 *1.5.3 提供一体化平行光路与聚焦光路两套光学系统，光路切换容易，光路自动校准，平行光路须采用平行光反射镜（多层膜透镜）加平行光索拉狭缝组合，五次重复切换重现性保证，角度发散度≤0.05o；并含小角衍射模块，具有小角衍射功能。
6、单晶衍射仪
单晶衍射仪 技术指标 1. 工作条件 工作电压：AC 220V (±10%)及三相AC 380V (±10%)，50Hz (±1%) 环境温度：18°C ~ 25°C 相对湿度：< 70% 无冷凝 2. X射线光源部分 2.1 光源类型 液态金属靶 或 高频自转靶 2.2 最大输出功率及输出功率稳定性 ≥250W，稳定性好于万分之五/天（液态金属靶） 或 ≥2.97KW，稳定性好于万分之一/天 （高频自转靶） 2.3 阳极材料 Ga（液态金属靶） 或 Cu（高频自转靶） 2.4 冷却方式 风冷（液态金属靶）或 水冷（高频自转靶） 2.5 光斑尺寸、光子通量及通量的稳定性 80？m？80？m、5.1？109（phs/s）、稳定性好于0.15%/24小时（使用直径为80？m的pinhole后） 或 90？m？90？m、1？1010 （phs/s）、稳定性好于0.1%/10分钟，不使用pinhole。 2.6 X光强度衰减 小于 5% /4000hours 3. 测角仪部分 3.1 类型 Kappa四轴，带编码器 3.2 φ轴运动范围及重复精度 运动范围： 不小于360°，重复精度≤0.001° 3.3 ω轴运动范围及重复精度 运动范围：不小于 355°（无碰撞条件下），重复精度≤0.0002° 3.4 2θ运动范围及重复精度 运动范围：不小于 -80°~ 90°，重复精度：≤0.0002° 3.5 Kappa运动范围 运动范围：不小于 -170°？ +170° 3.6测角仪四轴等中心误差 ≤ 7μm 3.7探测器到样品距离 调节范围不小于35 mm~ 200 mm 3.8样品观察系统 CMOS相机、光学放大倍数不小于4倍 4. 探测器部分 4.1 探测器类型 CPAD面探（CMOS芯片） 或 HyPix-Arc 150（高灵敏度弧形二维硅阵列光子直读探测器） 4.2 探测器有效面积 不小于208mm×139mm（平面探测器） 不小于77.5mm×115mm（弧形探测器，由三块77.5mm×38.5mm的探测器拼接，弧形半径45mm） 4.3 像素点尺寸 ≤135μm×135μm 4.4 是否可实现Shutter less 是 5. 样品冷却系统 5.1 温度范围及控温精度 温度范围：80K ~ 500K，控温精度：± 0.1 K
7、聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统
聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统 技术指标 一、电子光学系统 1. 二次电子分辨率< 1 nm @15kV 2. 探针电流2pA – 400nA 二、离子光学镜筒 1. 分辨率：< 2.5 nm @ 30 kV (在SEM-FIB的重合点) 2. 离子束能量 0.5 keV - 30 keV 3. 离子源：镓（Ga）液态金属离子源 4. Ga离子源保证使用寿命在3000 ？A.h 三、样品室样品台 1. 样品室内部尺寸：≥340mm（宽）*315mm（深） 2. 仓门尺寸：≥340mm（宽）*320mm（高） 3. 接口数量20+ 4. 主动减震，集成等离子清洗 5. 计算机控制优中心样品台 6. 移动行程x≥130mm, y≥130mm,z≥90mm，旋转360°，倾斜-60°-90° 7. 最大样品高度：≥90mm（可以旋转）；≥132mm（不能旋转） 四、探测器系统 1. 样品室内ETD 探测器，镜筒内多功能探测器，镜筒内轴向SE/BSE探测器；样品室可伸缩式BSE探测器；探针电流测量装置；报警装置；红外CCD装置 五、双束电镜-质谱联用系统 1. 质谱分辨率>800 2. 水平方向分辨率40nm，垂直方向分辨率3nm 3. 质谱检出限3ppm 4. 质量数范围不小于1-2500 5. 可测H, Li等元素，具有正离子和负离子两种模式 6. 可进行同位素和化学官能团的分析
8、双球差300kV透射电镜
双球差300kV透射电镜 技术参数 1. 双球差校正 2. Align: 300kV, 200kV, 80/60 kV, 40/30kV@TEM, STEM, Lorentz, EELS mode 3. 信息分辨率：≤ 60 pm @300kV 4. 信息分辨率：≤ 80 pm @200kV 5. 信息分辨率：≤ 110 pm @80/60kV 6. STEM分辨率：≤ 53 pm @300kV 7. oneview IS low-distortion相机 8. Lorentz Lens分辨率：≤ 2 nm 9. Advanced STEM：All detectors；SAAF/DPC/iDPC 10. EDS 11. K3 IS+Continuum 1066/1069 IS, includes EELS, EFTEM 12. 1个备用灯丝 13. 球差\带轴自动校准功能所有软件
9、透射电镜原位气体、液体、热电样品台系统
技术指标 1.透射电镜原位气体加热样品台系统 1.1加热方式：四电极MEMS加热 1.2加热温度范围：室温到1000℃ 1.3温度精度：≤0.01℃ 1.4样品台的气路通道及纳米反应室的气体量<100μl 1.5压力范围：0-1000mbar 1.6气体流速：可控气体流速：0 mln/min-1 mln/min 1.7 EDS探测温度：室温-800 ℃(与能谱探头有关) 1.8独立的供气系统。可以在实验过程中改变不同气体混合比，快速更换气压，流速等实验条件。 1.9气体种类：可提供多种气氛环境，如一氧化碳（CO）、甲烷（CH4）、氧气（O2），二氧化碳（CO2）、氢气（H2），氦气（He），氩气（Ar），氮气（N2），空气等 2.透射电镜原位液体电化学样品台系统 2.1芯片设计：可精确控制纳米反应室里的液体流速和液层厚度。 2.2液压范围：0, 200-2000mbar 2.3液压控制精度：±2mbar 2.4液体流速：0 nl/min–1700 nl/min 2.5电化学控制方式：三电极法，工作电极，参比电极和对电极 2.6电压范围：-10V到10V 2.7电流范围(恒流源)：1nA到10mA 2.8电流测量精度：5fA (0.006% of 100 pA range) 2.9电压测量精度：0.75μV at ±0.1V 2.10交流阻抗频率范围:10μHz到1MHz 3. 透射电镜原位热电一体样品台系统 3.1电极数：8/6电极(可同时加热和加电) 3.2温度范围：加热芯片：室温到1300℃，热电一体芯片：室温到 900℃。 3.3温度稳定性：加热到1300℃时，温度变化 ≤0.005℃ 3.4最高电场：≥250kV/cm（室温-900℃） 3.5最高工作电压：≥150V（室温-900℃） 3.6最小的检测电流：pA范围 3.7样品最小漂移率：≤1 nm/min （稳定的高温条件下） 3.8温度精确度：≥95% 3.9温度均匀度：≥99.5% 1.10 EDS兼容性:室温到1000℃（根据能谱探头最高温） 4. 透射电镜单倾热学样品台系统 4.1温度范围：室温到1300℃；温度准确度：>95%；温度均匀性：99.5% 4.2温度稳定性：< 0.01℃的温度变化 4.3分辨率：≤0.6 ？ at 800°C 4.4倾转角：α：± 20°
10、拉曼光谱仪
显微共聚焦拉曼光谱仪 技术指标 1 光谱仪主机 1.1 要求仪器具有高度整体性，激光器，光谱仪，显微镜，CCD探测器等均集成在同一主机内，以保证仪器短期及长期稳定性，整机自动化操作。 1.2 采用共焦技术。 1.3 软件控制自动切换至少3个激发波长，无需手动更换透镜，光栅等光学元件。 1.4 自动全波长校准，自动拉曼峰位校正，自动拉曼强度校正，自动荧光背景校正，自动曝光，自动批处理等。 1.5 光谱数据采集模式：数量≥两种，包括单窗口信号采集（同时谱），多窗口连续信号采集（宽光谱快速无缝接谱），多窗口断续信号采集（高低阈值一次采集）和连续扫描信号采集（大范围平滑光谱）。 2 光谱仪技术参数 2.1 采用全反射式单级光谱仪。 2.2 光谱分辨率：≤1cm-1。 2.3 灵敏度：硅三阶峰的信噪比≥30:1，并能观察到四阶峰。 2.4 光谱重复性：≤±0.02cm-1。 2.5 光谱稳定性：≤±0.02cm-1。 2.6 内置≥2块光栅，包括600，1800刻线，软件控制自动切换。 3 CCD探测器 3.1 成像区域：≥26.7×3.2mm。 3.2 有效像素：≥1024×256像素。 3.3 暗噪音：0.005e-/pixel/s。 4 开放式显微镜 4.1 显微镜底座可调节可拆卸，聚焦样品可通过调节物镜高低，不调样品台实现。 4.2 配置彩色摄像机：≥5百万像素，软件控制自动切换白光照明和拉曼测量。 4.3 反射照明。 4.4 可见平场消色差物镜：5X，100X，50X长焦。 5 共焦光路 5.1 消色差设计，光谱范围300-1000nm，共焦光路无透镜。 6激光器 5.2 532nm 单纵模固体激光器，功率≥100mW。 5.3 532nm干涉滤光片和两个Edge滤光片，低波数≤50cm-1。 5.4 内置位置传感器，自动检测激光方向和强度，自动准直光路。 6 XYZ高精密自动平台 6.1 XY扫描范围：X≥75mm，Y≥50mm，Z≥20mm。 6.2 XYZ最小步进：≤50nm。 6.3 采用闭环控制，精度50nm。 6.4 可扩展显微镜白光成像范围，拼接白光成像。 7 超快速成像模块 7.1 软件控制，自动选择普通模式和超快速成像模式，无需更换光学元件和调整仪器。 7.2 集成拉曼软件包，包括实时数据采集，处理，显示等功能
11、岩石/混凝土材料力学实验工业微CT扫描系统
(一)采购标的名称:岩石/混凝土材料力学实验工业微CT扫描系统(二)采购标的需实现的主要功能或者目标:利用高分辨率的工业CT，借助合理的三维重构软件，可以在计算机上可视化展示材料的孔隙、裂纹等微缺陷的空间分布、形态、方位等三维特征，为定量描述材料的三维缺陷分布，阐明岩石和混凝土材料在复杂受力条件下宏观力学性能指标与内部细观结构变化之间的内在联系，推进水电、采矿工程、岩土力学、建筑材料等相关学科发展。(三)采购标的数量:1台(四)采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:1、搭载加载系统，实时扫描应力加载过程内部结构； 2、测量系统为非接触式，在不破坏内部结构的前提下，轻松分析材料破坏失效特性； 3、基于GPU高速单元的三维断层扫描图像重构软件，支持多种重建算法，拥有漂移矫正、自动对焦、轨迹矫正专有技术功能； 4、可实现从简单的可视化与测量到高级图像处理、量化和骨骼化，提供先进2D/3D可视化、三维表征、分割、测量及数据转化等； 5、具有内部多场耦合加载拓展空间和预留接口，可方便扩展其他试验功能； 6、系统独立工作，稳定、安全、可靠性高。
学校最早在9月份公开进行招标，欢迎广大相关仪器厂商进行洽谈。