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节选该规范部分内容
本校准规范规定了对线位移传感器实验室环境下的动态参数进行校准的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理及复校时间间隔。
本校准规范适用于新制造(或购置)、使用中、修理后的线位移传感器动态参数校准。
引用文件
《JJF 1094-2002 测量仪器特性评定》、《GB/T 7665-2005 传感器通用术语》、《GB/T 30111-2013 位移传感器通用规范》、《GB/T 18459-2001 传感器主要静态性能指标的计算方法》、《GJB 8137-2013 位移传感器标定与精度测试方法》、《JJF 1305-2011 线位移传感器校准规范》。
线位移传感器可用来测量位移、距离、位置和应变量等长度尺寸,在工程测试中应用广泛。典型的线位移传感器可以分为接触式传感和非接触式传感。线位移传感器输出信号种类多,绝大部分线位移传感器输出电信号,如不同频率的脉冲信号、电压或电流等模拟量;也有些线位移传感器已集成了信号转化功能,能直接以数字方式或其他方式输出长度尺寸。
典型的线位移传感器的结构示意图如下。
校准条件
环境条件
①环境温度:22℃±1℃(每小时温度变化量不超过0.5℃)。
②相对湿度:≤65% RH。
③室内周围应无影响测量的灰尘、振动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场。
④被校准仪器在室内连续平衡温度的时间应不少于24h,标准器具在室内平衡温度的时间应不少于4h。
⑤电源电压的波动不应超过额定值的±1%,实验室内应避开强交变电磁场或近距离的交变磁场(如电机、电焊机等)的干扰。
校准用设备(或测量标准及其他设备)
校准项目
校准项目见表1。
表1 校准项目一览表
测量方法
线位移传感器的动态示值误差是通过激光干涉仪进行校准的。根据实际测量应用范围和条件的不同,设定好相关的测量程序和条件,并按要求对必要的仪器进行校准后,在仪器有效测量范围内,安装被校准传感器至一维直线位移台上,尽量满足阿贝原则。设置一维直线位移台按照振幅VR和频率fres做正弦往复运动。调整被校准线位移传感器的输出范围,在其输出范围内大致均匀分布取11个校准点(包括上、下限)。使用激光干涉仪对一维直线位移台的运动特性进行测量,利用被校准仪器的测量示值y与激光干涉仪的测量值L进行比较,计算被校准仪器的示值误差δ。本例中,以幅值为2mm,频率为5Hz的正弦往复运动的测量结果为例进行分析。