截至目前，TESCAN已于今年发布了5款扫描电子显微镜新品，TESCAN第四代电子显微镜TESCANS8000系列和TESCANS9000系列产品线已发布齐全。

 

　　其中包括：TESCANS8000高分辨型热场发射扫描电镜，S8000G高分辨型Ga-FIB，S8000X高分辨型XePlasma-FIB；TESCANS9000超高分辨型热场发射扫描电镜，S9000G超高分辨型Ga-FIB，S9000X超高分辨型XePlasma-FIB。

 

　　TESCAN第四代电子显微镜S9000系列是TESCAN最新推出的超高分辨型电子显微镜系列，包括三款电子显微镜产品，而此次发布的是S9000超高分辨型FE-SEM和S9000X超高分辨型XePlasma-FIB。

 

　　S9000系列在软硬件方面均经过全新设计，配备了TESCAN最新的Triglav™电子镜筒技术和Orage™离子镜筒技术，并提供Ga离子源和Xe等离子源多种离子源可供选择。TESCAN第四代电镜还配置了全新立体设计的Essence™计算机处理系统，具有非常便捷的操作界面和面向应用流程的可定制化软件布局；针对FIB加工和电子束光刻应用，还提供先进的DrawBeam™功能。

 

　　TESCANS9000超高分辨型FE-SEM配备Triglav™电子镜筒，具有优化的透镜内探测器系统和高性能电子信号过滤和收集能力。S9000系列还扩展了检测能力，能够采集能量过滤后的轴向背散射电子信号，可以选择性收集低损耗背散射电子，获得更好的对比度和表面灵敏度。

 

　　TESCANS9000G是一款超高分辨型的镓离子源FIB-SEM系统，适用于超薄TEM样品制备和其它具有挑战性的纳米加工任务。S9000G配置了Orage™FIB镜筒，不仅为纳米加工提供了最佳的精度，高达100nA的大离子束流，还可以对生物样品和材料进行指定位置、大体积的三维逐层扫描，图像具有更出色的对比度。得益于低电压下离子束的出色分辨率和性能，TESCANS9000G可以快速获得最佳质量的小于20nm的超薄TEM样品。