该课题取得的研究成果：2项发明专利、1项校准规程、2项地方标准、5项社会公益计量标准。本次会议探讨了研究中的重点、难点问题。为课题的进一步研究划出了目标。

几何量测量方法

指测量时所采用的测量原理、计量器具相测量条件的综合。在测量过程中，应根据被测零件的特点(如材料硬度、外形尺寸、批量大小、精度要求等)和被溯对象的定义来拟定测量方案、选择计量器具和规定测量条件。

纳米计量仪器

纳米的计量并非传统计量简单拓展。微电子和超精细加工走入了纳米空间。几何测量纳米逐渐走向实用性。由于纳米的尺度接近原子极限，它的测量方法和仪器都有独特性。

一、扫描隧道显微镜

二、激光干涉仪测距

三、干涉仪(由稳频塞曼激光光源、四光束偏振迈克尔干涉仪和数据分析电子系统组成)

四、X光干涉仪

五、电容式位移控制微悬臂原子力显微镜

六、描探针显微镜系列(扫描隧道显微镜、原子力显微镜等组成)

七、原子力显微镜(光学偏转法检测)