为贯彻落实《广东省人民政府关于培育发展战略性支柱 产业集群和战略性新兴产业集群的意见》、《广东省培育精 密仪器设备战略性新兴产业集群行动计划(2021-2025年)》、 《广东省重点领域研发计划实施方案》等文件精神，围绕国家重大科技战略和广东产业发展需求，加强精密仪器设备领域关键核心技术攻关，促进原创性、自主可控的仪器设备研制开发和产业化，广东省拟启动实施“精密仪器设备”重点专项。

　　

　　本专项2021年共部署4个专题，包括10个方向，项目实施周期一般为3年左右。专题下每个方向原则上支持1个项目，对评审结果相近且技术路线明显不同的同一方向可酌 情支持2项。同等条件下优先立项省市联合支持的项目。鼓 励产学研用联合申报，鼓励企业牵头承担项目。一般每个项目参研单位总数不超过8个。专题各方向采用竞争性评审、无偿资助方式。

　　

　　项目验收时，目标产品应通过第三方测试和可靠性测试， 技术就绪度提高3级以上；核心关键部件、技术、软件实现自主可控，关键考核指标需提供第三方测试报告。

　　

　　专题一、工业精密仪器设备(专题编号： 20210301)

　　

　　研究内容：针对复杂图形晶圆的超分辨率激光暗场成像 缺陷检测设备的工业需求及国产设备技术空白的矛盾，开展 复杂图形晶圆的超分辨率激光暗场成像缺陷检测设备的关 键技术与核心部件研发，包括大功率深紫外激光器技术、深 紫外多通道激光线扫描技术、深紫外多通道超分辨率成像技 术、深紫外偏振与空间滤波技术、深紫外高量子效率成像探 测技术、高速高精度晶圆运动位移台、高速图像数据处理与 自动缺陷识别分类技术等，获得实现工程化与产业化的效果。

　　

　　考核指标：目标检测设备空间分辨率≤40纳米；针对300mm晶圆实现：产率≥10片晶圆/h；图像处理速度≥10千兆像素/h；缺陷捕获率≥80%，致命缺陷捕获率≥90%，缺 陷误检率≤10%；正常运行时间(Uptime)≥90%；平均恢 复时间(MTTR)≤6小时。项目完成时目标仪器平均故障 间隔时间≥500小时，技术就绪度不低于8级，验收时销售 量不少于2台，得到单位示范应用并提供应用报告不少于2家，获得国际或国家核心技术发明专利授权不少于5件。

　　

　　资助强度：不超过2000万元/项。

　　

　　方向 1.2 OLED宏量喷印同步实时观测与分析装置

　　

　　研究内容：针对超高分辨率OLED显示面板喷印制造过 程中对宏量高速微液滴喷射与非稳态撞击、宏量子像素点打 印/固化缺陷同步实时观测与分析的需求，研究宏量微液滴高 动态实时观测与捕捉、微液滴撞击像素槽的均匀成膜过程捕 获与分析、宏量子像素点的打印/固化缺陷检测与分析等关键 技术，研制超高分辨率 OLED宏量喷印同步实时观测与分析 装置，开发相关软件和数据库并进行应用验证，最终实现产 业化推广。

　　

　　考核指标：实时捕捉、观测百兆级宏量微液滴的体积、 速度、轮廓和轨迹，单个喷头检测时间≤30 min；可观测分 析多液滴非稳态连续撞击子像素槽的成膜过程；面板缺陷： 点、线缺陷漏检率≤0.5%，MURA 检出率≥85%；可检测基 板尺寸≤200×200 mm。项目完成时目标仪器平均故障间隔 时间≥500 小时，技术就绪度不低于 8 级，牵头或参与制定 国家标准或团体标准(含规范)不少于 2 件，得到单位示范 应用并提供应用报告不少于 2 家，获得国际或国家核心技术 发明专利授权不少于 5 件。

　　

　　资助强度：不超过2000万元/项。

　　

　　专题二、人体诊疗仪器(专题编号：20210302)

　　

　　研究内容：针对生物医学研究和临床诊疗需求，开展高 通量流式细胞仪设备研究，突破三维流体动力聚焦、微流体 单细胞分选、高效细胞富集与无标记回收、单细胞荧光检测 等关键技术；搭建流式细胞荧光检测平台，实现单细胞荧光 信号准确解算；研发三维流式单细胞成像技术，获取高速流 动的单细胞多色荧光图像；研发微流体芯片单细胞分选器， 满足细胞的高通量筛选与富集；开展微流体流式细胞仪工程 化研发并应用示范。为临床诊断和病理分析提供新的手段和 设备，为高通量药物筛选和细胞生物学研究提供先进平台。

　　

　　考核指标：微流体芯片和相应的检测平台能够实现不低 于 3m/s 的检测流速、104 个 cell/秒的检测通量和 2000 cell/ 秒的分选通量；流式荧光光谱检测能够在 400～900 nm 的荧 光范围内实现 10～20 nm 的荧光分辨率；单细胞荧光图像检 测不少于 3 色荧光、不低于 2μm 的空间分辨率；细胞分选 通量不低于 5 mL/h，无标记细胞回收率不低于 80%。项目完 成时目标仪器电子系统平均故障间隔时间≥1000 小时，技术 就绪度不低于 8 级，得到单位示范应用并提供应用报告不少 于 2 家，获得国际或国家核心技术发明专利授权不少于 5 件。

　　

　　资助强度：不超过2000万元/项。

　　

　　方向 2.2 智能胃部胶囊影像自检系统

　　

　　研究内容：针对胃癌筛查防控的重大需求，突破胶囊胃 镜与移动智能终端连接的技术屏障及巨量检查图片人工阅 片的效能瓶颈，以现有胶囊内窥镜为基础，研发可连接移动 智能终端的新型胶囊胃镜系统，建立大规模标准化胃镜图像 数据库，研发上消化道解剖部位路标体系及病变类型的智能 分类与辨识模型和算法，实现胃部覆盖部位的智能描绘及病 变的智能识别，形成一套无需医生干预的智能胶囊胃镜影像 自检系统，实现胃部影像智能自检为胃癌早诊，筛查提供创 新解决方案。

　　

　　考核指标：胶囊胃镜拍摄分辨率不小于 480×480 像素 点，拍摄频率不小于 2 帧/秒，移动智能终端接收的无线信号 强度不低于-42dbm，接收图片帧率不低于 2fps。建立标准化 胃镜图片数据库，图片数量大于 1000 万张，精标注典型病 变与解剖部位图片数量大于 10 万张，胃部肿瘤性病变识别 准确率高于 95%，实现无人干预的人工智能全自动阅片。项 目完成时目标仪器平均故障间隔时间≥300 小时，技术就绪 度不低于 8 级，申请国家医疗器械注册认证，获得国际或国 家核心技术发明专利授权不少于 5 件。

　　

　　资助强度：不超过2000万元/项。

　　

　　专题三、科学测试分析仪器(专题编号： 20210303)

　　

　　研究内容：针对我国生命医学领域研究对冷冻电镜高度 依赖进口的现状，开展 100 千伏场发射冷冻透射电子显微镜 研究，突破 100 千伏场发射电子枪、超高稳定加速电压发生 器、大范围平行光照明、恒定功率磁透镜、低加速电压下高 性能高灵敏度探测相机的国产化自主研发等关键技术，开发 场发射冷冻电子透射显微镜智能控制系统和高通量自动化 数据收集软件。开展基于自主研发技术和系统的工程化和产 业化。

　　

　　考核指标：整机自主研发占比>90%。其中加速电压 100 kV，电压偏移率≤8 ppm；肖特基场发射电子枪，电子束流 5 pA～20 nA；四级聚光镜平行光照明系统；物镜球差≤2 mm， 色差≤2 mm；成像点分辨率优于 3.8 埃，信息极限优于 2.5 埃；放大倍数：10～120 万倍；冷冻样品自动上样系统，样 品台温度 90K，温度漂移≤1K；2k×2k 杂合像素直接电子探 测系统；全数字化操作和控制系统。项目完成时目标仪器平 均故障间隔时间≥5000 小时，技术就绪度不低于 8 级，得到 单位示范应用并提供应用报告不少于 2 家，获得国际或国家 核心技术发明专利授权不少于 8 件。

　　

　　资助强度：不超过3000万元/项。

　　

　　方向 3.2 高灵敏度多元素分析仪

　　

　　研究内容：针对环境地质、食品科学、冶金材料和生理 医学领域复杂基体中痕量多元素同步精准定性定量检测需 求，开展高灵敏度多元素分析仪关键技术研究。突破样品自 动化处理、进样接口抗干扰、离子高效传输、元素定性定量 检测等关键技术，开发快速前处理装置、抗污染型进样接口、 高效离轴式离子传输系统及高灵敏度元素分析系统等关键 部件，完成高灵敏度多元素分析仪整机集成，并开展应用示 范和产业化推广。

　　

　　考核指标：研制出相应仪器，质量范围优于 2 amu～255 amu；质量轴稳定性≤0.05 amu/24h；分辨率 0.6 amu～0.8 amu； 检出限：Be < 1 ppt，In < 0.4 ppt，Bi < 0.4 ppt；灵敏度：Be > 15M cps/ppm，In > 200M cps/ppm，Bi > 100M cps/ppm；短 期稳定性(RSD)< 2%；长期稳定性(RSD)< 3%；动态范 围1010。项目完成时目标仪器平均故障间隔时间≥2000小时， 技术就绪度不低于 8 级，形成批量生产能力，验收时销售量 不少于 2 台，得到单位示范应用并提供应用报告不少于 2 家， 获得国际或国家核心技术发明专利授权不少于 3 件。

　　

　　资助强度：不超过1000万元/项。

　　

　　方向 3.3 微波等离子体质谱仪

　　研究内容：针对电子信息、新材料和生物医药的超痕量 元素分析需求，开展高功率微波等离子体质谱仪关键技术研 究，突破稳定高效的微波电离、高灵敏四极杆质量分析、弱 信号采集与干扰校正等关键技术；开发微波等离子体源、四 极杆质量分析器、微弱信号采集与处理系统等关键部件；开 发质谱干扰校正模型及样品分析方法；研制高功率微波等离 子体质谱仪，并进行应用示范和产业化推广。

　　

　　考核指标：研制出可用氮气(空气)或氩气作为工作气 体的高功率微波等离子体质谱仪；微波等离子体源功率≥ 800W；稳定性 0.1%～0.5%。基体干扰：氧化物离子产率≤ 3.0%；双电荷离子产率≤3%；质量数范围：2 amu～255 amu； 质量分辨率<0.8 amu(10%峰高处)；检测器：大于 8 个数 量级的分析动态范围；元素检出限：9Be≤30 ng/L, 115In≤10 ng/L, 209Bi≤10 ng/L，对卤素检出限:35Cl<1μg/L；质量稳定 性≤±0.05u，短期稳定性≤3.0%，长期稳定性≤5.0%。项目 完成时目标仪器平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度 不低于 8 级，形成批量生产能力，验收时销售量不少于 3 台， 牵头或参与制定国家标准或团体标准(含规范)不少于 2 件， 实现车载可移动监测应用，得到单位示范应用并提供应用报 告不少于 2 家，获得国际或国家核心技术发明专利授权不少 于 3 件。

　　

　　资助强度：不超过1000万元/项。

　　

　　专题四、计测与电测仪器(专题编号： 20210304)

　　

　　研究内容：针对细胞学、病理学、精准医疗等领域对器 官、组织、细胞精细结构动态变化及生命信息传递过程实时 动态观测的需求，开展超分辨无标记活体显微成像技术及仪 器研究，突破超声成像、激光扫描多光子荧光和谐波成像， 或者宽场偏振、相差、荧光成像等多模态多参数无标记显微 成像技术，以及不同模态与参数显微图像融合与三维重构、 混合介质折射率失配像差智能校正、三维快速扫描动态协同 运动控制等关键技术，开发超分辨无标记活体显微镜产品及 相关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推 广，实现在细胞学、病理学、药理学、精准医疗等领域的应 用。

　　

　　考核指标：光学成像可获得小于 200nm 微观结构信息， 探测深度大于 1mm；超声成像空间分辨率优于 10μm，探 测深度大于 10mm。2D 成像速度≥30 帧/秒, 3D 成像速度≥ 8 帧/秒；拥有宽场偏振、相差、荧光，二次、三次谐波和多 光子荧光，超声等两种以上的成像模式；可实现自适应像差补偿和智能校正。项目完成时目标仪器平均故障间隔时间≥ 1000 小时，技术就绪度不低于 8 级，形成批量生产能力，并 提供 2 台以上样机，牵头或参与制定国家标准或团体标准(含 规范)不少于 2 件，得到单位示范应用并提供应用报告不少 于 2 家，获得国际或国家核心技术发明专利授权不少于 3 件。

　　

　　资助强度：不超过1000万元/项。

　　

　　方向 4.2 水质综合毒性生物监测仪器

　　

　　研究内容：针对水环境毒性应急检测和在线监测需求， 开展基于电化学活性微生物的电子过程检测水质综合毒性 研究，突破微生物胞外电子传递功能蛋白快速表达、生物电 信号原位多级放大、生物毒性快速传感、假阴性有机负荷掩 蔽信号智能识别等关键技术，实现微量毒性污染物快速准确 识别，开展生物传感器、生物电采集系统、控制系统、算法 软件、整机集成的工程化开发，针对不同生物毒性检测场景， 研制便携式水质毒性快速检测装备和小型原位在线式水质 急性毒性检测装备；通过对多种类型地表水体水质综合毒性 长期在线实时监测，在水环境监测领域形成应用示范，进行 水质综合毒性生物监测仪产业化推广。

　　

　　考核指标：研制小型原位在线和微型便携两种基于电化 学活性微生物的水质综合毒性生物监测仪各一套，毒性响应 时间≤5 min；分别针对重金属类毒性污染物、酚类毒性污染 物和氯类毒性污染物，构建不少于 3 种可检测微克级别污染物的电化学活性微生物(群)；典型无机污染物 Cd(II)和 Pb(II) 的检测限达到 0.05 mg/L，典型有机污染物盐酸金霉素和阿维 菌素的检测限达到 0.05 mg/L，预警信号/噪声信号比大于 3； 整机核心部件自主研发率大于 90%。项目完成时目标仪器平 均故障间隔时间≥1000 小时，技术就绪度不低于 8 级，维护 周期大于三个月，饮用水源地开展应用与示范验证不少于 2 处，牵头或参与制定国家标准或团体标准(含规范)不少于 2 件，获得国际或国家核心技术发明专利授权不少于 3 件。

　　

　　资助强度：不超过1000万元/项。

　　

　　方向 4.3 医疗用流量、差压、氧气传感器

　　

　　研究内容：针对病毒性肺部感染、肺内气体交换功能衰 竭，心胸外科手术辅助、单纯辅助呼吸等领域心肺脑复苏的 呼吸支持，开展有创、无创医疗呼吸机核心高精度流量、差 压和氧气检测传感器的研究，突破有限元仿真技术、原子层 沉积技术与深反应离子刻蚀技术，开发具有自主知识产权、 质量稳定可靠的高精度国产化流量、差压和氧气检测传感器， 并进行工程化开发、应用示范和产业化推广。

　　

　　考核指标：研制出医疗用流量传感器、差压传感器与氧 气传感器。(1)流量传感器，测量范围：-200～+200L/min， 工作温度：0℃～+50℃，精度：±2.5%(典型值)，重复性： ±0.5%(典型值)；(2)差压传感器，测量范围：-500～500 Pa (-2～2 inH2O)，工作温度：-10℃～+60℃，温度补偿范围：0℃～+50℃，精度：3%(读数)，重复性：0.5%(读数)。 (3)氧气传感器，测量范围：0～100 Vol.% O2，温度补偿： <2% O2当量(0℃～40℃)，响应时间：<15 s 至最大值的 90%，工作温度范围：-10℃～+60℃。项目完成时目标仪器 技术就绪度不低于 8 级，形成批量生产能力，验收时销售直 接用于生产相关医疗设备的流量、差压、氧气传感器数量各 不少于 500 个(套)，得到单位示范应用并提供应用报告不 少于 2 家，获得国际或国家核心技术发明专利授权不少于 3 件。

　　

　　资助强度：不超过1000万元/项。

　　

　　项目申报时间：

　　

　　申报单位网上集中申报时间为2021年7月21日～2021年8月20日17:00，主管部门网上审核推荐截止时间为2021年8月27日17:00。