三坐标测量仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量机或三坐标量床。
三坐标测量仪又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动；
此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。
三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等
三坐标测量仪使用方法
三坐标测量机(CMM)的测量方式通常可分为接触式测量、非接触式测量和接触与非接触并用式测量。
其中，接触测量方式常用于机加工产品、压制成型产品、金属膜等的测量。
为了分析工件加工数据，或为逆向工程提供工件原始信息，经常需要用三坐标测量机对被测工件表面进行数据点扫描。
以三坐标的FOUNCTION-PRO型三坐标测量机为例，介绍三坐标测量机的几种常用扫描方法及其操作步骤。
三坐标测量机的扫描操作是应用PCDMIS程序在被测物体表面的特定区域内进行数据点采集，该区域可以是一条线、一个面片、零件的一个截面、零件的曲线或距边缘一定距离的周线等。
扫描类型与测量模式、测头类型以及是否有CAD文件等有关，控制屏幕上的“扫描”(Scan)选项由状态按钮(手动/DCC)决定。
若采用DCC方式测量，又有CAD文件，则可供选用的扫描方式有“开线”(OpenLinear)、“闭线”(ClosedLinear)、“面片”(Patch)、“截面”(Section)和“周线”(Perimeter)扫描；
若采用DCC方式测量，而只有线框型CAD文件，则可选用“开线”(OpenLinear)、“闭线”(ClosedLinear)和“面片”(Patch)扫描方式；若采用手动测量模式，则只能使用基本的“手动触发扫描”(ManulTTPScan)方式；
若采用手动测量方式并使用刚性测头，则可用选项为“固定间隔”(FixedDelta)、“变化间隔”(VariableDelta)、“时间间隔”(TimeDelta)和“主体轴向扫描”(BodyAxisScan)方式。