ICP光谱仪是当前光谱分析中迅速灵敏的一种仪器。

　　ICP光谱仪包括以下几个主要部分：

　　1、入射狭缝:

　　在入射光的照射下形成光谱仪成像系统的物点。

　　2、准直元件:

　　使狭缝发出的光线变为平行光。该准直元件可以是一独立的透镜、反射镜、或直接集成在色散元件上，如凹面光栅光谱仪中的凹面光栅。

　　3、色散元件:

　　通常采用光栅，使光信号在空间上按波长分散成为多条光束。

　　4、聚焦元件:

　　聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狭缝的像，其中每一像点对应于一特定波长。

　　5、探测器阵列：

　　放置于焦平面，用于测量各波长像点的光强度。该探测器阵列可以是ccd阵列或其它种类的光探测器阵列。