真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

　　

　　ZKJ B真空镀膜机采用箱式结构，抽气系统后臵，便于拆卸和维修。整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装。蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。真空镀膜机阀门采用气动，操作方便，使用可靠。液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。蒸发室抽气口也设臵一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降低到极低的程度。

　　

　　注意事项：

　　1.泵本身要保持清洁干燥，泵内的油具有密封和润滑作用，因此要按照规定量添加。

　　

　　2.机械泵停止工作前要先关闭进气阀门，再停电并开放气阀，将大气通过进气口放入泵中。

　　

　　3.要不定期检点机械泵的皮带松紧度、电机的转速，罗茨泵电机的转速，和密封圈的密封效果。

　　

　　4.机械泵要安装在清洁干燥的地方。

　　

　　5.泵在工作期间，油温不可以超过75摄氏度，否则会由于油的黏度过小而导致密封不严。