氧氮氢分析仪是快速、准确分析氧、氮、氢元素的高性能仪器，整机采用模块化、一体化设计，即主机由可靠的脉冲电极炉、高灵敏高精度的检测系统、布局合理和气密性好的气路系统、可靠耐用的电源系统、稳定的电路系统、高校节能的水循环散热系统等六个独立的硬件模块单元组成。
氧氮氢分析仪的测量原理：
测量范围非常广泛。分析样品时，样品被称重后放到样品端口中，然后用载气进行冲洗，防止大气（含氧气和氮气）进入到炉子系统中。
石墨坩埚在脉冲炉中脱气，以尽量减少自带的污染。经过稳定阶段后样品落入坩埚中并熔融。样品中的氧与石墨坩埚中的碳反应生成一氧化碳。氮和氢以单质的形式释放。载气和样品气体通过粉尘过滤网后再进入到氧化铜催化炉中，将一氧化碳氧化成二氧化碳。
二氧化碳进入到红外池中用于测定氧含量，被测后的气体导入化学试剂管，这时二氧化碳和水被化学试剂除去，氮元素通过热导检测池含量被测定。测量氢时，载气换为氮气，样品气体通过舒茨试剂而不是氧化铜催化剂。测氧和氮时也可采用更廉价的氩气作为载气。
氧氮氢分析仪的使用注意事项：
1 、氧氮氢分析仪在初次启用前，应该对连接点、焊点、阀门等进行检漏，以确保空气中的氧不会反渗进入管道及仪器内部，造成测量数值偏高。
2、再次使用仪器前，要进行管道系统净化，将漏入的空气除干净，同时确保连接取样管路时没有漏入空气。
3、样气中氧含量的变化会受管道材质及表面粗糙度影响，因此一般连接管路选用铜管或抛光过的不锈钢管，而不用塑料管、橡胶管等。
4、微量元素分析时，要避免各种管件、阀门、表头等死角对样气造成污染，因此必须尽可能的简化气路系统，连接件死角要小，以防止溶解氧逸出造成污染，zui好使用水封、油封及腊封等设备，才能较好的确保数据的。