通过搭配使用光学显微镜与精密可动工作台，实施目标物测量的装置。
和投影仪一样，采用远心光学系统，可实现准确测量。可进行非接触测量，不必担心目标物受损。
根据用途，可分为工具显微镜、工厂用工具显微镜、工具显微镜等。不同类型的特点如下所示。
工具显微镜…测量显微镜的鼻祖，原本用于工具的测量。
工厂用工具显微镜…适用于测量小型加工部件等。
工具显微镜…支持的用途比工具显微镜更多，还能测量大型目标物。
工具显微镜的主要使用方法
将目标物装设到载物台上。
和普通的光学显微镜一样，用透过光或反射光照射目标物，将刻度基线对准阴影边界，实施测量。根据目标物区分使用照明（透过照明、同轴落射照明等）。
测量值可输出为各类CAD数据。