原子发射光谱仪的激发光源有热激发光源(如火焰)、电激发光源(如电弧和火花)、等离子体激发光源(如直流等离子体喷焰(DCP)、电感耦合等离子体炬(ICP)和微波电感等离子体炬(MIP))、激光光源等。

       原子发射光谱仪采用的多为火花光源，也有少量采用电弧光源分析矿物或超低含量合金。

       传统的火花光源采用电容电感充放电原理，电容电感参数确定后，激发波形固定，所有元素均采用相同的激发波形；

       但是不同样品和不同元素需要不同激发波形，例如激发电位高的元素需要火花型放电波形提供高的激发能量；

       痕量元素需要电弧型放电波形改善蒸发效果，因此传统火花光源的激发效果较差。

       新型的数字光源采用多高频电源脉冲合成技术，可实现任意激发波形；

       针对不同元素采用最合适的激发波形，获得最佳激发效果，以满足不同基体的分析需求，是传统激发光源无法比拟的。