通过低温介质将抽气面温度降低到20K以下，抽气面就可以冷凝沸点温度较低的气体，从而抽出大量的气体。

    这种利用低温抽气面将气体冷凝的抽气泵叫低温泵，或冷凝泵。

    是利用低温介质降低表面温度后将气体冷凝、吸附或是冷凝+吸附；

    将被抽空间的压力降低，而获得真空或维持真空状态的装置。

    作为完整的抽气系统，低温泵由两部分组成，主体为真空泵体，第二部分为压缩机。

    现在得到广泛应用的都是制冷机式低温泵，其核心是低温制冷机。

    工作基本流程为：

    氦气首先被压缩到高温高压状态；再通过热交换器被冷却为常温氦气；

    经纯化后的高纯氦气*后经汽缸完成绝热膨胀，变成低温氦气。

    如此不断循环，氦气被不断降温，成为制冷介质—低温氦气。

    选择低温泵的优势有：

    ①洁净，纯无油，抽气范围宽，可快速获得理想的超高真空环境；

    ②与口径相同的其它真空泵相比，低温泵有更大的抽速，尤其抽出水蒸汽的能力；

    ③对被抽气体无选择，杂质颗粒而不影响系统工作；

    ④可以任意角度安装，没有运动部件，不需要前级泵，运行和维护成本低；

    ⑤暴露大气对系统影响小，压缩机断水后可以自保护，所以可以实现无人值守。

    真空系统的设计

    真空炉选用低温泵系统，*大的问题就是解决热负载。

    真空炉中的热负载主要来自于三方面：

    ①来自炉体侧的热辐射；

    ②粘滞流状态下，气体分子携带走热量；

    ③来自泵口管道的热传导和辐射热量。