1、干式泵（非润滑）

    提供完全洁净的真空环境。只需较少维护，且不会产生任何废料。然而，干式泵的初始成本较高。常用的干式泵包括隔膜泵、活塞泵、涡旋泵和涡轮分子泵。

    2、水性泵

    可以较低的初始成本实现低真空，只需少程度的维护。这些泵均具有耐腐蚀性。然而，它们并不适用于水蒸汽敏感系统。处理污水是这些泵的另一主要问题。常用的水性泵包括吸水泵。

    3、油润滑泵

    价格适中，可提供较高的泵送速度和广泛的极限真空度。然而，这些泵需要日常维护并更换机油。这些油可能会污染真空环境。这些泵还需配备进口过滤器和出口过滤器，以便保护泵体和周围环境。常用的油润滑泵包括旋片式真空泵和齿轮泵。