水的电阻率和电导率的大小，与水中含盐量的多少、水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。水越纯，电阻率越大，电导率越小。μS/cm表示微西门子每厘米，是电导率的单位，1μS/cm相当于10mS/m毫西门子每米。和电阻率MΩ·cm(兆欧）成反比。即：0.1μS/cm=10MΩ·cm ?，算法：1除以0.1微西门子=10兆欧；1除以10兆欧=0.1微西门子。

目前国际上通常用mS/m，中国国家实验室分析用水标准92、08版均是使用mS/m。水处理行业通常使用电阻率和MΩ·cm。为方便换算，电导率则使用μS/cm。目前最纯的水质电阻率为18.25MΩ·cm。

水质越纯，电阻率和电导率越易受空气中的CO2的影响，因此超纯水的电导电阻检测必须在线检测，才可保证其准确性。